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EUV 光刻机是半导体制造中的核心设备,只有 ASML 公司才能生产,单台售价约 10 亿人民币,之前三星、台积电等公司还要抢着买,然而今年半导体形势已经变了,EUV 光刻机反而因为耗电太多,台积电计划关闭省电。
来自产业链的消息人士手机晶片达人的消息称,由于先进制程产能利用率开始下滑,而且评估之后下滑时间会持续一段周期,台积电计划从年底开始,将部分 EUV 设备关机,以节省 EUV 设备巨大的耗电支出。
据了解台积电目前拥有大约 80 台 EUV 光刻机,主要用于 7nm、5nm 及以下的先进工艺,今年 9 月份还会量产 3nm 工艺,都需要 EUV 光刻机,然而随着 PC、手机、显卡等产品的需求下滑,先进工艺生产的芯片势必会受到影响。
苹果今年的 iPhone 14 Pro 系列的 A16 处理器也没有急着上 3nm 工艺,还在用 4nm 工艺,此外苹果还因为 3nm 能效问题,取消了初代 3nm 生产芯片的计划。
相比之前的 DUV 光刻机,EUV 光刻机需要使用高能激光器,而且光线会多次折射导致损耗极大,早期效率只有 0.02%,现在量产的说是可以达到2% 效率,但也意味着绝大多数电力都要消耗掉。
EUV 光刻机生产一天需要 3 万度电左右,一年耗电大约 1000 万度,是十足的电老虎。
(邯郸小程序开发)